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代理德國Thyracont熱陰極真空計VSH88赫爾納供應(yīng)
公司簡介
Thyracont Vacuum Instruments GmbH（德國Thyracont真空儀器有限公司）是一家源于德國的真空測量設(shè)備制造企業(yè)。該公司始于1970年，致力于真空測量技術(shù)的開發(fā)和生產(chǎn)，其業(yè)務(wù)涵蓋真空傳感器、真空計、真空開關(guān)、控制器及相關(guān)真空組件的供應(yīng)，并為真空泵和真空處理設(shè)備制造商提供產(chǎn)品。Thyracont的產(chǎn)品應(yīng)用于流程工業(yè)、涂層、分析與研發(fā)以及半導(dǎo)體和太陽能等多個領(lǐng)域。
Thyracont主要產(chǎn)品類型
1. 真空計 (Vacuum Gauges)
2. 真空傳感器 (Vacuum Sensors)
3. 真空開關(guān) (Vacuum Switches)
4. 控制器 (Controllers)
5. 數(shù)字真空表 (Digital Vacuum Meters)
6. 真空變送器 (Vacuum Transducers)
7. 真空系統(tǒng)控制器 (Vacuum System Controllers)
8. 配件和真空組件 (Accessories and Vacuum Components)
Thyracont主要型號
1. VSH88 系列 (超高真空計，含VSH88D, VSH88DL, VSH88E等型號)
2. VD8系列 (便攜式數(shù)字真空計，如VD81, VD83, VD84, VD85)
3. VSH系列 (其他超高真空計，如VSH87, VSH89)
4. VD6 (單通道真空顯示與控制單元)
5. VD12 (雙通道真空顯示與控制單元)
6. VRC (電子真空開關(guān))
7. Smartline系列 (數(shù)字真空變送器)
8. VD800 (緊湊型真空計)
VSH88產(chǎn)品介紹
VSH88是Thyracont公司生產(chǎn)的一款組合了皮拉尼（Pirani）和熱陰極（Bayard-Alpert規(guī)）原理的智能數(shù)字真空計/變送器，屬于其Smartline產(chǎn)品線，用于從粗真空到超高真空（UHV）范圍的絕對壓力（Absolute Pressure） 測量。
技術(shù)參數(shù)
特性 | 參數(shù)值 |
測量原理 | 皮拉尼（Pirani）/ 熱陰極（Bayard-Alpert規(guī)）（依據(jù)氣體不同） |
測量范圍 | 1000 – 5×10?1? mbar (1000 – 0.0000000005 mbar) / 750 – 5×10?1? Torr |
精度 | 1000-10 mbar: <30% 讀數(shù)、10-1×10?? mbar: <10% 讀數(shù) |
重復(fù)性 | ±2% (10-1×10?2 mbar)、±5% (1×10?2-1×10?? mbar) |
響應(yīng)時間 | < 200 ms (開關(guān)BA發(fā)射電流時是2秒) |
輸出信號 | VSH88D: 0-10 VDC (對數(shù)輸出) & RS485; VSH88DL: 同D型，帶LCD顯示； VSH88E: RS485 和 EtherCAT |
供電電源 | 20 – 30 VDC |
真空接口 | DN 40 ISO-KF |
接觸真空材料 | 不銹鋼 1.4307, Ni, W, Pt, 釔涂銥, 玻璃 |
過載保護 | 可達 4 bar (絕對壓力) |
工作溫度 | +5 °C 至 +60 °C |
烘烤溫度 | 法蘭（電氣分離）上的溫度180℃ |
防護等級 | IP54 (VSH88E) / IP40 (VSH88D/DL) |
電氣連接 | VSH88D/DL: Sub-D, 15針; VSH88E: M12圓形接頭 |
重量 | 約 555 g |
工作原理
VSH88采用了組合傳感器技術(shù)，集成了皮拉尼（Pirani）傳感器和熱陰極（Bayard-Alpert規(guī)）傳感器。皮拉尼傳感器基于氣體導(dǎo)熱原理，適用于中低真空范圍（從大氣壓至約10?3 mbar），其測量結(jié)果會受氣體類型影響。熱陰極傳感器（Bayard-Alpert規(guī)）基于熱陰極發(fā)射電子使氣體分子電離的原理，適用于高真空和超高真空范圍（從10?3 mbar延伸至5×10?1? mbar），其測量結(jié)果同樣受氣體類型影響。內(nèi)置的微處理器自動控制兩個傳感器之間的切換與協(xié)同工作（Pirani傳感器可保證熱陰極在低壓時的正常操作，并有助于延長其使用壽命），從而實現(xiàn)從大氣壓到超高真空的寬范圍連續(xù)測量，并提供經(jīng)過處理和補償?shù)男盘栞敵觥?/span>
優(yōu)勢特點
1. 極寬的測量范圍與自動管理：結(jié)合皮拉尼和熱陰極兩種原理，實現(xiàn)了從1000 mbar到5×10?1? mbar的極寬量程覆蓋。微處理器自動管理兩個傳感器間的交互，Pirani傳感器有助于優(yōu)化熱陰極傳感器的工作并延長其使用壽命。
2. 結(jié)構(gòu)設(shè)計與材料選擇：采用金屬密封的不銹鋼測量元件和金屬外殼，適用于高真空（UHV）和超高真空應(yīng)用。熱陰極部分采用涂釔銥絲（Bayard-Alpert規(guī)），有助于穩(wěn)定性和耐久性。
3. 接口豐富與功能集成：提供多種輸出接口選擇，包括模擬量（0-10V）、RS485數(shù)字接口，以及EtherCAT現(xiàn)場總線（VSH88E），便于連接PLC和控制系統(tǒng)。提供兩個獨立的繼電器開關(guān)點，可用于過程控制或報警。部分型號配備LCD顯示，用于狀態(tài)指示。
4. 維護與校準便利：傳感器探頭設(shè)計為可更換式。支持通過前面板按鍵或軟件接口調(diào)整零點和大氣壓，并可為不同氣體設(shè)置校正因子以校準壓力讀數(shù)。
主要應(yīng)用
代理德國Thyracont熱陰極真空計VSH88真空計可應(yīng)用于多個需要寬范圍真空測量與控制的領(lǐng)域，尤其是涉及高真空和超高真空的工藝過程，例如：
1. 分析儀器：用于電子顯微鏡、質(zhì)譜儀等精密分析儀器中真空度的監(jiān)控。
2. 鍍膜與氣相沉積系統(tǒng)：用于物理氣相沉積（PVD）、化學(xué)氣相沉積（CVD）等鍍膜工藝過程中真空度的監(jiān)控與控制。
3. 真空爐與熱處理：用于高溫真空爐、材料燒結(jié)或合成設(shè)備中的壓力監(jiān)控。
4. 超高真空測量與控制：任何需要監(jiān)測或控制從粗真空到超高真空范圍的場合，例如空間模擬。
5. 過程工程：用于半導(dǎo)體制造、太陽能電池生產(chǎn)等流程工業(yè)中涉及高真空過程的設(shè)備。
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