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代理德國(guó)Thyracont組合式真空計(jì)VSR53赫爾納供應(yīng)
公司簡(jiǎn)介
Thyracont Vacuum Instruments GmbH（德國(guó)Thyracont真空儀器有限公司）是一家源于德國(guó)的真空測(cè)量設(shè)備制造企業(yè)。該公司始于1970年，致力于真空測(cè)量技術(shù)的開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)，其產(chǎn)品對(duì)許多未來(lái)技術(shù)做出了重要貢獻(xiàn)。Thyracont的業(yè)務(wù)涵蓋真空傳感器、真空計(jì)、真空開(kāi)關(guān)、控制器及相關(guān)真空組件的供應(yīng)，并為真空泵和真空處理設(shè)備制造商提供產(chǎn)品。其產(chǎn)品應(yīng)用于流程工業(yè)、涂層、分析與研發(fā)以及半導(dǎo)體和太陽(yáng)能等多個(gè)領(lǐng)域。
Thyracont主要產(chǎn)品類(lèi)型
1. 真空計(jì)(Vacuum Gauges)
2. 真空傳感器(Vacuum Sensors)
3. 真空開(kāi)關(guān)(Vacuum Switches)
4. 控制器(Controllers)
5. 數(shù)字真空表(Digital Vacuum Meters)
6. 真空變送器(Vacuum Transducers)
7. 真空系統(tǒng)控制器(Vacuum System Controllers)
8. 配件和真空組件(Accessories and Vacuum Components)
Thyracont主要型號(hào)
1. VSR53系列 (組合式壓阻/皮拉尼真空變送器，含VSR53D, VSR53DL, VSR53E等型號(hào))
2. VD8系列(便攜式數(shù)字真空計(jì)，如VD81, VD83, VD84, VD85)
3. VSH系列(冷陰極真空計(jì))
4. VD6(單通道真空顯示與控制單元)
5. VD12(雙通道真空顯示與控制單元)
6. VRC(電子真空開(kāi)關(guān))
7. Smartline系列(數(shù)字真空變送器)
8. VD800(緊湊型真空計(jì))
代理德國(guó)Thyracont組合式真空計(jì)VSR53產(chǎn)品介紹
VSR53是Thyracont公司生產(chǎn)的一款組合式壓阻（Piezo）和皮拉尼（Pirani）原理的智能數(shù)字真空變送器，用于從粗真空到高真空范圍的絕對(duì)壓力（Absolute Pressure）測(cè)量。
技術(shù)參數(shù)
特性 | 參數(shù)值 |
測(cè)量原理 | 壓阻式 (Piezo) / 皮拉尼 (Pirani) 組合傳感器 |
測(cè)量范圍 | 1200–1×10??mbar(約900–1×10??Torr) |
精度 | 1200-10mbar:±0.3%滿(mǎn)量程；10-2×10?3mbar:±10%讀數(shù) |
響應(yīng)時(shí)間 | < 30ms(壓阻部分,1200-10mbar)；<100ms(皮拉尼部分,10-2×10?3mbar) |
輸出信號(hào) | 0-10VDC(對(duì)數(shù)輸出，測(cè)量范圍1.5-8.58V)；RS485串行接口；部分型號(hào)支持EtherCAT或Profinet |
供電電源 | 20– 30VDC |
真空接口 | DN16ISO-KF(VSR53系列) |
接觸真空材料 | 不銹鋼1.4307,鎢,鎳,玻璃,金,氧化硅 |
過(guò)載保護(hù) | 可達(dá)4bar(絕對(duì)壓力) |
工作溫度 | +5°C至+60°C |
防護(hù)等級(jí) | IP40(VSR53D/DL)或IP54(VSR53E，帶配套連接器) |
電氣連接 | Sub-D15針(VSR53D/DL)或M12連接器(VSR53E) |
重量 | 約195g(VSR53D)或220g |
工作原理
VSR53采用了組合傳感器技術(shù)，集成了壓阻（Piezo）傳感器和皮拉尼（Pirani）傳感器。壓阻傳感器基于壓阻效應(yīng)，適用于較高壓力（粗真空）范圍，其測(cè)量結(jié)果與氣體類(lèi)型無(wú)關(guān)。皮拉尼傳感器基于氣體導(dǎo)熱原理，適用于中低真空范圍，其測(cè)量結(jié)果會(huì)受氣體類(lèi)型影響，但可通過(guò)可調(diào)氣體類(lèi)型校正系數(shù)進(jìn)行補(bǔ)償。內(nèi)置的微處理器自動(dòng)控制兩個(gè)傳感器之間的切換與數(shù)據(jù)融合，從而實(shí)現(xiàn)從大氣壓到高真空的寬范圍連續(xù)測(cè)量，并提供經(jīng)過(guò)溫度和氣體類(lèi)型補(bǔ)償?shù)男盘?hào)輸出。
優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)
1. 寬范圍測(cè)量與自動(dòng)切換：結(jié)合壓阻和皮拉尼兩種原理，實(shí)現(xiàn)了從1200mbar到0.0001mbar的寬量程覆蓋，并能自動(dòng)在不同真空度區(qū)間切換傳感器工作。
2. 測(cè)量性能與穩(wěn)定性：在粗真空段（1200-10mbar）具有±0.3%FS的精度和±0.1%FS的重復(fù)性。采用優(yōu)化的溫度補(bǔ)償技術(shù)，有助于保證測(cè)量的穩(wěn)定性。傳感器探頭設(shè)計(jì)為可更換式。
3. 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與防護(hù)：采用金屬密封的不銹鋼測(cè)量元件，適用于高真空（UHV）應(yīng)用。金屬篩網(wǎng)可保護(hù)燈絲防止油或溶劑蒸氣污染。耐腐蝕的金屬外殼提供了IP54或IP40的防護(hù)等級(jí)，適應(yīng)工業(yè)環(huán)境。
4. 接口豐富與集成便捷：提供多種輸出接口，包括模擬量（0-10V）、RS485數(shù)字接口，部分型號(hào)支持EtherCAT或Profinet現(xiàn)場(chǎng)總線(xiàn)，便于連接PLC和控制系統(tǒng)。提供兩個(gè)獨(dú)立的無(wú)電勢(shì)繼電器開(kāi)關(guān)點(diǎn)，可用于過(guò)程控制或報(bào)警。
主要應(yīng)用
VSR53真空變送器可應(yīng)用于多個(gè)需要寬范圍真空測(cè)量與控制的領(lǐng)域，例如：
1. 分析儀器：用于質(zhì)譜儀等精密分析儀器中真空度的監(jiān)控。
2. 真空爐與熱處理：用于真空熱處理的壓力監(jiān)控與控制。
3. 泄漏檢測(cè)：用于真空系統(tǒng)密封性的檢漏工作。
4. 過(guò)程工程：用于化工、制藥等流程工業(yè)中涉及真空過(guò)程的設(shè)備。
5. 真空系統(tǒng)的安全電路：作為真空系統(tǒng)安全聯(lián)鎖的一部分，監(jiān)測(cè)壓力狀態(tài)。
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